Fotolithographie und Halbleiterfertigung

LED-Gelblichtlösung für Reinräume von Lindner

In Reinräumen muss ein absoluter Schutz vor Verunreinigungen und Ablagerungen auf dem Produkt gewährleistet sein. Hier ist nicht nur der Mensch potenzieller Partikelträger, sondern auch die eingesetzten Leuchten müssen die geforderten Parameter und Hygienevorschriften einhalten und verschiedensten Klassifizierungen entsprechen. Dies gilt sowohl im medizinisch-pharmazeutischen Bereich als auch beim Einsatz in der Halbleiterfertigung.

Teardropleuchtenserie Lfy von Lindner beim Einsatz im Reinraum.
(Bild: Lindner)

Gelblicht spielt hier eine wichtige Rolle und ist bei den Lithographieprozessen in der Halbleiterfertigung essenziell. Mittels eines speziellen Verfahrens werden Strukturen auf Bauteilen, z. B. Wafern, angebracht. Dabei wird ein lichtempfindlicher Film, meist als Fotolack aufgebracht, strukturiert und mit Ätzverfahren in die darunterliegende Schicht übertragen. Unter herkömmlichem, weißem Licht mit Blauanteil würde sich der Fotolack innerhalb weniger Sekunden entwickeln und einen reproduzierbaren Lithographieprozess unmöglich machen.

Die Teardropleuchtenserie Lfy aus der Leuchtenfabrik Lindner ist sehr flexibel und wird je nach Wunsch den Anforderungen von Reinraumbereichen individuell angepasst. Klassifiziert mit ISO-Klasse 1 bietet sie einen optimalen Einsatz auch in sensibelsten Bereichen und kann in der Schutzart IP40 bis IP54 allseitig ausgeführt werden.

Über die Firma
Lindner AG | Leuchtenfabrik
Mettenbach
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